真空(kong)爐系統(tǒng)中的油(you)擴散泵(bèng)是靠高(gāo)速蒸汽(qì)射流來(lái)攜帶氣(qi)體以達(da)到抽氣(qì)的目的(de)，它工作(zuò)在高真(zhen)空區域(yù)，其工作(zuo)壓強範(fàn)圍爲10-2～10-6pa。油(you)蒸汽從(cong)傘形噴(pen)咀(如I級(ji)噴咀)以(yi)超音速(sù)噴出後(hou)，其速度(du)逐漸增(zēng)大，壓力(lì)及密度(du)逐漸降(jiang)低。

    1．概述(shù) 油擴散(sàn)泵的工(gōng)作原理(li)與水蒸(zhēng)汽噴射(shè)泵相似(si)，都是靠(kào)高速蒸(zhēng)汽射流(liú)來攜帶(dai)氣體以(yi)達到抽(chōu)氣的目(mù)的，故有(yǒu)如水蒸(zhēng)汽噴射(shè)泵相似(si)的特點(diǎn)。不同點(dian)是擴散(sàn)泵工作(zuo)在高真(zhen)空區域(yu)，其工作(zuo)壓強範(fan)圍爲10-2～10-6pa。廣(guǎng)泛用于(yú)電子、化(hua)工、冶金(jin)、機械、石(shi)油及原(yuán)子能等(děng)工業部(bu)門中。

    2．油(yóu)擴散泵(beng)的工作(zuò)原理與(yu)結構

    當(dāng)油蒸汽(qi)從傘形(xíng)噴咀(如(rú)I級噴咀(jǔ))以超音(yin)速噴出(chū)後，其速(su)度逐漸(jiàn)增大，壓(ya)力及密(mi)度逐漸(jiàn)降低，射(she)流上邊(bian)的被抽(chou)氣體A因(yin)密度差(cha)要向蒸(zhēng)汽射流(liú)中擴散(san)并被射(she)流攜帶(dài)到水冷(lěng)的泵壁(bi)處B，在B處(chù)，工作蒸(zhēng)汽大部(bu)分被冷(leng)凝成油(you)滴沿泵(bèng)壁流回(hui)到油鍋(guō)中循環(huán)使用，而(ér)被抽氣(qì)體在B處(chù)堆積、壓(yā)縮，最後(hou)被下級(ji)射流攜(xie)帶走，以(yǐ)達到逐(zhú)級壓縮(suo)，最後被(bèi)前級泵(bèng)抽走。