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高(gao)溫真空(kong)爐運用(yòng)在藍寶(bao)石結晶(jīng)[2014/8/5]高(gāo)溫真空(kong)爐在現(xiàn)代工業(yè)中應用(yong)于很多(duō)場合,如(ru)藍寶石(shi)晶體生(sheng)長爐、高(gāo)溫燒結(jié)爐等。藍(lán)寶石晶(jing)體生長(zhǎng)爐通過(guò)對溫度(du)的精确(què)控制來(lai)實現從(cóng)晶體化(hua)料、引晶(jīng)(或将籽(zǐ)晶熔化(hua)到合适(shì)的範圍(wéi))、長晶、退(tuì)貨冷卻(que)的各個(ge)過程控(kòng)制,晶體(ti)隻有按(an)合适的(de)冷卻速(sù)度進行(hang)冷卻結(jié)晶,才能(neng)長出高(gao)質量的(de)藍寶石(shi)晶體。高(gao)溫燒結(jie)爐要通(tong)過對溫(wen)度的較(jiào)爲準确(què)的控制(zhì),才能燒(shāo)結出高(gāo)質量的(de)、穩定的(de)燒結産(chan)品。因此(cǐ),高溫真(zhen)空爐的(de)爐溫測(ce)量、監控(kong)是控制(zhì)産品質(zhi)量的重(zhong)要手段(duan)。而在自(zì)動化生(sheng)産的情(qing)況下,且(qie)溫度的(de)控制精(jīng)确度要(yao)求較高(gāo)時,則要(yào)求能對(dui)溫度進(jìn)行長時(shí)間連續(xù)準确的(de)測量,以(yǐ)實現對(dui)溫度的(de)實時控(kòng)制。高溫(wen)真空環(huan)境下的(de)長時間(jian)連續準(zhǔn)确測量(liang),是一個(gè)行業難(nán)題,目前(qian)爲止還(hai)沒有發(fa)現這方(fang)面的實(shi)際應用(yong)。 以藍寶(bao)石晶體(ti)生長爐(lú)爲例,藍(lán)寶石晶(jīng)體生長(zhǎng)爐是一(yī)種用于(yú)藍寶石(shí)單晶生(shēng)長的常(chang)用設備(bei),通常包(bao)括坩埚(guō)、加熱器(qi)、金屬保(bao)溫瓶等(deng),加熱器(qì)通電以(yǐ)後,将在(zai)坩埚外(wài)部形成(cheng)溫度場(chang),溫度場(chǎng)對坩埚(guō)進行加(jiā)熱。泡生(sheng)法藍寶(bao)石單晶(jing)聲場中(zhong),加熱溫(wēn)度的變(biàn)化對晶(jīng)體的生(sheng)長影響(xiǎng)很大,合(he)适的引(yin)晶溫度(du)、合理的(de)降溫控(kong)制程序(xu)都有利(li)于提高(gāo)晶體生(shēng)長質量(liàng),晶體生(shēng)長速率(lü)會随加(jiā)熱溫度(du)的降低(di)而快速(sù)增加。制(zhi)定适合(hé)晶體生(sheng)長的降(jiang)溫程序(xù),沒有一(yi)定的溫(wēn)度測量(liàng)技術做(zuò)參考,晶(jīng)體品質(zhì)很難保(bǎo)證。因此(cǐ),一般采(cǎi)用紅外(wai)測量技(jì)術做參(can)考,晶體(tǐ)品質很(hěn)難保證(zhèng)。因此,一(yī)般采用(yong)紅外測(ce)溫儀測(cè)量坩埚(guō)的溫度(du),以獲得(de)較爲準(zhǔn)确的測(ce)量溫度(dù)值。但是(shì),在藍寶(bǎo)石單晶(jing)生長過(guo)程中,藍(lan)寶石單(dan)晶爐的(de)溫度較(jiao)高,;安保(bao)室晶體(ti)以及熱(rè)場的金(jin)屬揮發(fā)物容易(yi)凝結在(zài)溫度較(jiào)低的測(cè)溫玻璃(lí)表面,遮(zhe)擋紅外(wài)測溫儀(yí)有效測(cè)量用光(guang)波,使紅(hong)外測溫(wēn)儀讀數(shù)失真。爲(wèi)提高溫(wēn)度測量(liang)的準确(què)性,目前(qian)通常采(cǎi)用少量(liang)惰性氣(qi)體吹掃(sao)測溫玻(bo)璃法。
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