單晶棒等徑(jing)控制是單晶爐(lu) 控制的重點。單(dan)晶直徑在生長(zhǎng)過程中課受到(dao)溫度、提拉速度(du)與轉速、坩埚跟(gen)蹤速度與轉速(sù)、生長物理環境(jing)、保護氣體的流(liú)速與溫度、冷卻(que)水流的流速與(yu)溫度等因素的(de)影響。歸納起來(lái)，無外乎是熱場(chǎng)波動和生長速(su)度變化兩大類(lèi)。因此，爐内熱場(chǎng)設置，生長溫度(du)補償、速度等參(can)數選配是控制(zhi)單晶外形的基(jī)本條件，爐内熱(re)場和生長速度(du)的精确控制是(shì)單晶等徑控制(zhi)的重點。由于影(yǐng)響單晶等徑生(sheng)長的因素較多(duō)，控制對象數學(xué)模型難以建立(li)，且這些因素本(běn)身以及它們之(zhi)間的關系是模(mó)糊的、不确定的(de)。系統具有非線(xiàn)性、時變性和大(da)慣性的特征。因(yīn)而，單晶爐單晶(jīng)等徑生長控制(zhi)采用模糊控制(zhi)策略是比較合(he)适的。

    單晶等徑(jìng)生長在忽略一(yī)些幹擾因素影(yǐng)響情況下，主要(yào)受溫度和拉速(su)影響。如果恒定(dìng)溫度而僅從生(shēng)長速度控制直(zhi)徑，外形固然可(kě)以得到快速保(bǎo)證，但生長速度(dù)的大幅度調節(jie)會造成單晶微(wēi)觀質量缺陷。反(fǎn)之，如果恒定速(sù)度而僅從溫度(dù)調節來控制直(zhi)徑，由于這種控(kòng)制系統是一個(ge)緩慢時變，并且(qie)具有确定性擾(rǎo)動和随機幹擾(rǎo)的非最小相位(wèi)系統，用一般常(cháng)規儀表控制手(shou)段來實現自動(dòng)控徑極爲困難(nan)。隻有對溫度和(hé)生長速度進行(hang)綜合控制，才能(néng)完成等徑自動(dong)控制。