單(dan)晶爐在運作過程(chéng)中因爲一直都會(huì)處于高溫的狀态(tài)下，對其他的零部(bu)件要求高且嚴格(ge)，因爲需要維持長(zhǎng)時間的工作，所以(yǐ)需要特别注意定(dìng)期進行必要的維(wéi)護保養。

1、坩埚驅動(dòng)裝置要求的運動(dong)精度比較高，是設(shè)備的核心運動部(bù)件，應重點維護。坩(gān)埚軸是石墨坩埚(guō)的支撐軸，應随時(shi)檢查其冷卻水的(de)情況，以免燒損。

坩(gān)埚驅動采用滾珠(zhu)絲杠和直線導軌(gui)結構，是坩埚驅動(dong)的關鍵部件，需保(bǎo)持清潔，嚴禁灰塵(chén)、雜物附着，并定期(qī)塗抹潤滑脂。

2、籽晶(jing)旋轉及提升機構(gou)的維修

籽晶旋轉(zhuǎn)及提升機構也是(shi)單晶爐的關鍵部(bù)件，該部件運行的(de)好壞直接影響單(dan)晶的生長。因此，也(yě)須重點維護。

卷輪(lun)箱是籽晶提升的(de)核心，卷輪箱内的(de)零件一般情況下(xià)不得随意拆除，必(bi)須拆除時，重新安(ān)裝時必須保證軟(ruǎn)軸對中。軟軸鋼絲(si)繩在使用中不準(zhun)有死彎現象，并在(zai)每次開爐時檢查(chá)鋼絲繩是否燒損(sǔn)，如有燒損應及時(shi)修整或更換新的(de)鋼絲繩。

除了上面(miàn)的兩點之外，在每(mei)次開爐前應檢查(cha)水路系統是否暢(chang)通，水溫檢測傳感(gan)器安裝是否正常(cháng)。發現有結垢時應(yīng)及時清理。在拉晶(jing)過程中，若發現水(shui)壓報警或漏水時(shí)要及時采取措施(shī)。真空管道的過濾(lü)網每爐要清理一(yī)次，抽氣管道每20～30爐(lú)清理一次。

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