現有(you)加熱電源(yuan)存在的問(wen)題：

    盡管我(wo)國晶體生(sheng)長設備的(de)自動化程(cheng)度有了很(hen)大提高，但(dan)是在常規(guī)的直拉法(fǎ)溫度控制(zhì)環節的設(shè)計上還存(cún)在以下問(wèn)題：

    (1)加熱電(dian)源的智能(néng)化程度不(bu)高。純模拟(ni)電路構成(cheng)，單閉環控(kong)制，自動化(hua)程度偏低(di)，功率的調(diào)節常滞後(hou)于系統對(duì)溫度的實(shí)際要求。

    (2)溫(wen)度需要手(shou)動調節。該(gāi)設備在運(yun)行過程當(dang)中不能完(wán)全做到無(wú)人值守，對(dui)于引徑、放(fàng)肩及熔料(liao)過程的溫(wēn)度控制還(hái)需要工作(zuo)人員通過(guò)電源櫃的(de)旋鈕手動(dòng)調節輸出(chu)值，等徑生(shēng)長過程的(de)實際控溫(wen)精度與理(li)論值也有(you)差距，參數(shù)的設置、調(diào)節和記錄(lù)均需要值(zhi)守人員參(cān)與完成。

    單(dan)晶爐改進(jin)方案：

    裝置(zhì)采用模塊(kuai)化設計，微(wei)機控制，内(nèi)置自适應(yīng)能力較強(qiáng)的模糊PID控(kòng)制算法，具(ju)有控制參(cān)數自動調(diao)節、顯示，可(ke)通過按鍵(jian)設定初值(zhí)，系統異常(cháng)可自動聲(sheng)光告警等(děng)新功能，即(ji)從整體上(shàng)提高溫控(kòng)系統的智(zhì)能化程度(dù)和控制精(jīng)度，加快參(can)數調節的(de)響應速度(du)，使整個生(sheng)産過程中(zhong)爐溫的變(bian)化能快速(sù)平滑地跟(gen)随工藝曲(qu)線變化，裝(zhuang)置通用性(xing)強，操作上(shàng)更加簡單(dān)、可靠。

    單晶(jīng)爐 主要技(jì)術指标：

    單(dan)晶爐加熱(rè)電源是一(yi)種大功率(lü)直流電源(yuán)，要求輸出(chū)功率lOOkW，輸出(chu)電壓爲0-5V可(kě)調，輸出電(dian)流爲0-3000A；其輸(shu)出的能量(liàng)可直接爲(wèi)單晶爐内(nèi)的石墨加(jia)熱器供熱(re)，加熱溫度(du)範圍爲o～2000℃，控(kòng)溫精度要(yao)求達到±5℃；各(ge)種信号可(ke)自動檢測(cè)、顯示，參數(shù)的修改和(hé)設定可通(tong)過按鍵進(jin)行，以此來(lái)滿足單晶(jing)矽在生長(zhǎng)階段對溫(wen)度的嚴格(ge)要求。