單(dān)晶爐爐(lu)室内的(de)工作溫(wen)度高達(da)1400℃甚至更(gèng)高，故其(qi)殼體需(xu)爲夾層(céng)結構以(yǐ)便通水(shui)冷卻，主(zhǔ)輔爐室(shì)之間，觀(guān)察口、抽(chou)氣口等(deng)處要施(shī)以靜密(mi)封，籽晶(jing)坩埚等(deng)運動部(bu)件處要(yào)施以動(dòng)密封，這(zhè)些都對(duì)提高單(dan)晶爐整(zheng)體密閉(bi)性增加(jia)了難度(du)。同時也(yě)對真空(kong)密閉性(xìng)能的檢(jian)驗提出(chu)了更高(gao)的要求(qiu)。

    鑒于奧(ao)氏體不(bú)鏽鋼防(fang)鏽、強度(dù)高、塑性(xing)及韌性(xìng)好、焊接(jiē)性能優(yōu)良、順磁(ci)性、導熱(re)導電性(xìng)低等特(te)點，幾乎(hu)所有的(de)單晶爐(lú)爐室都(dou)采用00Crl8Ni9Ti(SuS304L)不(bu)鏽鋼材(cai)料，采用(yòng)鎢極氩(ya)弧焊(rnG)或(huò)熔化極(jí)氩弧焊(han)(MIG)。

    制造過(guò)程中對(dui)單個零(ling)件的檢(jian)驗，主要(yao)是對采(cǎi)用焊接(jie)工藝零(ling)件焊縫(feng)的檢驗(yan)，防止焊(hàn)接過程(chéng)中的虛(xu)焊漏焊(hàn)，杜絕裂(liè)紋氣孔(kǒng)，及時發(fa)現問題(ti)采取補(bǔ)救措施(shi)。

    外觀檢(jiǎn)驗法

    對(duì)焊接焊(han)縫最簡(jiǎn)單的檢(jian)驗方法(fǎ)是外觀(guān)檢驗，用(yong)肉眼或(huo)低倍(小(xiǎo)于20倍)放(fang)大鏡對(duì)焊縫表(biao)面缺陷(xiàn)進行檢(jiǎn)查。外觀(guān)檢驗之(zhi)前，焊縫(feng)的表面(miàn)污物應(yīng)清除幹(gàn)淨。外觀(guān)檢驗的(de)主要内(nèi)容是檢(jiǎn)查焊縫(féng)的尺寸(cun)是否符(fu)合要求(qiu)，是否有(you)咬口、焊(han)瘤、表面(miàn)氣孔、表(biǎo)面裂縫(féng)等缺陷(xian)。對檢查(chá)出的焊(han)接缺陷(xian)，須及時(shi)修補後(hòu)，再次進(jin)行檢驗(yàn)。外觀檢(jian)驗隻能(neng)發現表(biǎo)面宏觀(guan)的缺陷(xian)。

    着色檢(jiǎn)驗法

    着(zhe)色檢驗(yan)法的原(yuan)理是用(yòng)着色劑(ji)來顯示(shì)缺陷。着(zhe)色檢驗(yàn)不需專(zhuān)門裝置(zhi)，隻要配(pei)置适宜(yi)的着色(sè)劑、顯現(xiàn)粉，即可(kě)獲得檢(jian)驗結果(guo)。其工作(zuo)原理是(shi)基于毛(máo)細管作(zuo)用來實(shi)現的。先(xian)用合适(shì)的溶劑(ji)将焊縫(féng)清洗幹(gan)淨，并讓(ràng)其幹燥(zao)，接着噴(pēn)上着色(se)劑，等待(dài)一段時(shí)間，流動(dòng)性和滲(shèn)透性良(liang)好的着(zhe)色劑便(bian)滲入到(dao)焊件表(biǎo)面的縫(feng)隙中，然(rán)後将焊(hàn)件表面(miàn)再次擦(cā)拭幹淨(jìng)并噴上(shàng)顯現粉(fěn)，侵人焊(hàn)件縫隙(xì)中的着(zhe)色劑，則(zé)由于毛(mao)細管現(xian)象上滲(shèn)到顯現(xiàn)粉中來(lái)，呈現出(chū)缺陷的(de)形象。雖(suī)然着色(sè)檢驗也(yě)隻能發(fā)現表面(miàn)的缺陷(xian)，但根據(ju)着色顯(xian)現出來(lái)的大小(xiǎo)可以幫(bang)助判定(ding)缺陷的(de)大小，比(bi)其外觀(guan)檢驗效(xiao)果更好(hǎo)。

    X射線檢(jian)驗法

    要(yao)對焊縫(féng)的内部(bù)缺陷進(jìn)行檢驗(yàn)，既準确(què)又可靠(kao)的方法(fa)是x射線(xiàn)檢驗。利(li)用x射線(xian)來檢驗(yàn)焊縫的(de)方法目(mu)前應用(yong)最廣泛(fan)的是照(zhao)相法。這(zhè)種方法(fǎ)就是在(zai)被檢驗(yàn)焊縫的(de)後面放(fàng)置一張(zhāng)膠片，x射(shè)線從前(qian)面透人(ren)。當x射線(xian)經過被(bèi)檢驗的(de)焊縫後(hou)，由于焊(hàn)縫金屬(shǔ)和焊縫(feng)缺陷的(de)密度不(bu)同，對X射(she)線的能(neng)量衰減(jian)和吸收(shou)不同，而(ér)到達膠(jiao)片上的(de)x射線強(qiang)度也不(bú)同，膠片(piàn)的感光(guāng)程度不(bu)一樣，經(jīng)過顯影(ying)後得到(dào)的底片(piàn)黑化度(dù)也就不(bu)同，有缺(quē)陷處x射(she)線吸收(shou)少，透過(guò)的x射線(xian)強度較(jiao)大，底片(pian)感光較(jiào)強，顯影(ying)比較黑(hei)；無缺陷(xiàn)處底片(pian)感光則(zé)較弱，顯(xian)影後呈(chéng)淡白色(se)。這樣，觀(guan)察底片(piàn)上的影(yǐng)像就能(neng)發現焊(han)縫有無(wu)缺陷及(jí)缺陷的(de)種類、大(da)小和位(wei)置。

    水壓(yā)檢驗

    對(dui)單晶爐(lú)中殼體(tǐ)爲夾層(céng)結構的(de)零件，除(chú)采用上(shàng)述方法(fǎ)外，還可(kě)以采用(yòng)水壓法(fa)檢驗夾(jia)層是否(fǒu)有缺陷(xiàn)。水壓法(fǎ)檢驗是(shì)在單晶(jīng)爐殼體(ti)上留一(yī)個入口(kǒu)用水将(jiāng)夾層灌(guan)滿，并堵(du)好其餘(yu)的出口(kou)，用水泵(bèng)把夾層(céng)内的水(shui)壓提高(gao)到3．2kg／cm2左右(you)，進行強(qiang)壓試驗(yan)，并維持(chí)15min以上，壓(ya)力不能(neng)有下降(jiang)，同時檢(jiǎn)查焊縫(feng)上是否(fou)有水滴(di)或水迹(ji)出現，如(ru)果出現(xiàn)則表明(ming)該處有(you)滲漏缺(quē)陷，應做(zuò)出标記(ji)，以便修(xiū)補。水壓(yā)法檢驗(yan)方法簡(jian)單，容易(yi)找出缺(quē)陷的具(jù)體位置(zhi)，不過其(qí)最小可(kě)檢漏率(lü)隻能達(dá)到10“Pa·L／s，對極(jí)其微小(xiǎo)的缺陷(xian)就無能(neng)爲力了(le)。

    氦質譜(pu)檢驗法(fǎ)

    用于 單(dān)晶爐 的(de)真空殘(cán)餘氣體(tǐ)分析的(de)質譜計(jì)都可以(yǐ)用來檢(jiǎn)漏，特别(bie)是用氦(hai)做示漏(lòu)氣體的(de)質譜檢(jian)漏儀，是(shi)真空檢(jiǎn)漏中靈(ling)敏度最(zuì)高、用得(dé)最普遍(biàn)的一種(zhong)檢漏儀(yi)器，其最(zui)小可檢(jiǎn)漏率能(néng)達到10。11Pa·L／s。目(mu)前的氦(hai)質譜檢(jiǎn)漏儀基(jī)本上都(dōu)是磁偏(pian)轉型的(de)，其實質(zhì)是一種(zhong)對氦分(fèn)壓變化(huà)有反應(yīng)的儀器(qi)。單晶爐(lú)殼體夾(jia)層用氦(hai)質譜檢(jiǎn)漏儀進(jìn)行檢驗(yan)，首先要(yào)留～個入(ru)口接上(shàng)真空管(guan)路，堵好(hǎo)殼體上(shàng)其他的(de)出口，再(zai)用輔助(zhù)真空泵(beng)抽真空(kong)，真空度(du)達到10Pa以(yǐ)下後，才(cai)能打開(kai)與之相(xiàng)連的氦(hai)質譜檢(jiǎn)漏儀，然(rán)後用氦(hài)氣在疑(yí)有漏孔(kǒng)處進行(háng)噴吹，檢(jian)查檢漏(lòu)儀指示(shì)是否有(yǒu)變化，如(rú)發現有(yǒu)變化時(shí)，應再做(zuò)幾次複(fu)檢，确定(dìng)漏孔的(de)具體位(wei)置。氦質(zhì)譜檢漏(lou)的設備(bèi)都較昂(áng)貴，因此(cǐ)應盡可(ke)能采用(yòng)其他較(jiào)爲經濟(jì)的檢漏(lòu)方法。