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單晶爐長晶原理(lǐ)是什麽

[2014/4/10]

     在 單晶爐(lu) 中可以進行一些(xiē)操作,如果把高純(chun)度的多晶矽原料(liào)放在高純度的石(shí)英坩埚中,通過加(jia)熱器的作用,就會(huì)産生高溫,這樣就(jiu)會把它熔化。如果(guǒ)對熔化的矽液進(jin)行降溫處理,就會(huì)産生一定程度的(de)過冷度,然後再使(shǐ)用一個矽單晶體(ti)插在熔體的表面(miàn),需要使用固定在(zai)籽晶軸上的矽單(dan)晶體。可以等這籽(zǐ)晶可以和熔體相(xiang)融合之後,然後慢(man)慢的往上拉動籽(zǐ)晶。然後晶體就會(huì)在慢慢的生長,可(kě)以生長成爲直徑(jing)3至5毫米的細頸。

 

    這(zhè)個細頸可以消除(chú)高溫溶液産生的(de)強烈的沖擊作用(yòng),這樣就會形成一(yi)個錯位,這個過程(chéng)就是引晶。然後可(kě)以把晶體的直徑(jìng)放大,将其放大到(dao)工藝所要求的大(da)小就可以,一般來(lái)說,這個長度是75至(zhì)300毫米,專業術語則(zé)可以把它稱爲放(fang)肩。如果突然将拉(lā)速提高的話,使肩(jiān)部形成一個直角(jiao)。然後單晶爐就會(hui)進入等徑工藝,通(tōng)過對熱場溫度和(he)晶體來提升下速(su)度,這樣就會生成(cheng)一定大小的單晶(jīng)柱體。
    如果很多矽(xi)溶液已經完成了(le)結晶,就可以把晶(jing)體慢慢的縮小,直(zhí)到縮小爲一個尾(wei)形的椎體就可以(yǐ)了,一般這個尾形(xíng)椎體也被稱爲收(shōu)尾工藝。這樣就可(kě)以把單晶的拉制(zhì)過程完成操作,然(ran)後再經過一定的(de)保溫冷卻就可以(yǐ)将其取出來了。
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